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表面處理行業(yè)發(fā)展概況及特性發(fā)展趨勢重點企業(yè)

1、表面處理概述

表面處理既可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件新品制造中，是陶瓷、硅、石英和金屬等多種材質(zhì)零部件新品生產(chǎn)的工序之一；也可用于清潔零部件使用中形成的污染，是保障工藝制程穩(wěn)定和制造良率的重要配套服務(wù)；還可用于對消耗性部件再生改造，改善或克服基材弱點，如陶瓷材料質(zhì)脆、裂紋敏感、抗熱震性能差、高溫機械性能下滑。其中，針對新品制造的表面處理服務(wù)需求規(guī)模相對較?。▋H考慮由設(shè)備制造原廠委托專業(yè)第三方表面處理服務(wù)廠商的部分，不包括設(shè)備制造原廠自行實施的部分），僅約占整體市場規(guī)模的5%；對使用后零部件的表面處理約占整體市場規(guī)模的95%，是行業(yè)主要需求來源。

表面處理行業(yè)經(jīng)歷了產(chǎn)業(yè)鏈分工演化過程。半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)發(fā)展初期，表面處理作為設(shè)備銷售的重要配套服務(wù)之一，僅由設(shè)備制造原廠實施。二十世紀(jì)九十年代以來，隨著全球半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)快速發(fā)展，行業(yè)制造分工逐漸細化，開始出現(xiàn)專業(yè)第三方表面處理供應(yīng)商，將表面處理（尤其是精密清洗）外包逐漸成為行業(yè)趨勢。在設(shè)備的質(zhì)保期內(nèi)，晶圓廠和顯示面板制造商基本仍由設(shè)備制造原廠提供表面處理服務(wù)，或由其分包予第三方企業(yè)，而質(zhì)保期外的表面處理服務(wù)則由設(shè)備制造原廠、第三方表面處理廠商開展市場化競爭。在質(zhì)保期外市場，第三方表面處理廠商相比設(shè)備制造原廠具備屬地配套服務(wù)、交付及時和快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢，在產(chǎn)業(yè)鏈專業(yè)化分工的趨勢下，專業(yè)表面處理廠商的市場地位得到進一步鞏固。第三方廠商業(yè)務(wù)包括精密清洗、陽極氧化和熔射等。

（1）精密清洗

在泛半導(dǎo)體設(shè)備制造和使用過程中，污染物會附著在設(shè)備零部件表面，尤其是腔室內(nèi)零部件由于直接暴露在工藝反應(yīng)中，表面會吸附多種副產(chǎn)物。為保證泛半導(dǎo)體制造良率以及工藝穩(wěn)定性，需要階段性洗凈零部件以有效控制污染物，因此精密清洗是泛半導(dǎo)體制造過程中必不可少的配套服務(wù)。

目前，精密清洗主要采用物理清洗、化學(xué)清洗等方式去除設(shè)備零部件的表面污染物。通過設(shè)計藥液配方，并合理安排處理工序、處理時間和處理溫度等，滿足高效、批量和低成本的洗凈需求。

（2）陽極氧化

陽極氧化是鋁和鋁合金材質(zhì)零部件常用的表面處理方法，將金屬置于特定環(huán)境下電解液中作為陽極，使其表面形成幾十至幾百微米的氧化膜，通過精確管控涂層粗糙度、膜厚等，可有效提高腔室部件對工藝反應(yīng)環(huán)境的耐電壓性能和耐腐蝕性能。

（3）熔射

熔射是設(shè)備零部件表面改性（性能改良）的重要技術(shù)手段，使用少量材料制備特殊功能的涂層，可起到大量、昂貴的整體塊材難以起到的作用，同時極大地降低成本。具體包括等離子熔射、電弧熔射、火焰熔射和爆炸熔射等。

1）等離子熔射

產(chǎn)業(yè)化較為成熟的熔射工藝之一。等離子噴槍將電能轉(zhuǎn)化為熱能，氧化釔、氧化鋁、氟化釔或氟氧化釔等粉料經(jīng)高溫熔化后，形成中心溫度達到10,000~50,000℃高溫的高速等離子焰流，熔化并沉積到各類材質(zhì)的零部件基體表面，以提高其耐腐蝕性。

2）TWAS雙電弧鋁熔射

利用大電流產(chǎn)生的電弧熔化兩股線狀鋁材，使用高速氣流將熔化的鋁霧化，并加速噴向陶瓷基材，從而在氧化鋁陶瓷零部件表面涂覆鋁層，達到增加部件表面粗糙度的效果，提高陶瓷零部件在泛半導(dǎo)體工藝中的吸附能力。

2、行業(yè)的周期性和區(qū)域性特征

（1）行業(yè)周期性

下游泛半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)發(fā)展和供需平衡等受產(chǎn)品周期、資本開支周期、研發(fā)周期等因素影響，下游行業(yè)需求的周期性亦使得表面處理行業(yè)具有周期性特點。當(dāng)前表面處理行業(yè)仍然處在快速發(fā)展階段，市場需求整體呈現(xiàn)螺旋增長趨勢，不存在周期性衰退。

（2）行業(yè)區(qū)域性

表面處理具有一定的服務(wù)半徑，其區(qū)域性主要由下游晶圓廠、顯示面板廠分布的區(qū)域性所決定，中國大陸相關(guān)需求主要集中在華東、東南、西南等區(qū)域。

3、表面處理的新技術(shù)發(fā)展情況及發(fā)展趨勢

（1）工藝技術(shù)、服務(wù)品質(zhì)持續(xù)升級

半導(dǎo)體行業(yè)制程工藝持續(xù)提高，對表面處理服務(wù)的技術(shù)水平要求日益提升。顯示面板領(lǐng)域，高世代線的建設(shè)使得設(shè)備部件尺寸增加，表面處理的操作難度相應(yīng)增加；LTPS TFT-LCD、OLED等新工藝的推廣，對清洗潔凈度、涂層性能指標(biāo)要求越來越高，表面處理相應(yīng)的配方和工藝要求也隨之提升。日益激烈的市場競爭也要求企業(yè)持續(xù)改善表面處理服務(wù)品質(zhì)，不斷提高營運效率，縮短交付時間。

表面處理此前主要服務(wù)于半導(dǎo)體和顯示面板設(shè)備零部件清洗和再生改造，但隨著國內(nèi)企業(yè)對高附加值先進陶瓷材料零部件研發(fā)探索的深入，表面處理作為先進陶瓷生產(chǎn)流程重要部分，其重要性也日益凸顯。未來隨著陶瓷加熱器、靜電卡盤等高精尖產(chǎn)品的國產(chǎn)化，也將繼續(xù)推動國內(nèi)企業(yè)在包括接觸凸點加工精密噴砂、精密研磨拋光等工藝的技術(shù)水平快速升級。

（2）表面處理工藝手段更加多樣化

隨著半導(dǎo)體和顯示面板行業(yè)的技術(shù)發(fā)展，設(shè)備部件功能日益豐富，對表面處理服務(wù)類型需求也趨于多元化。在現(xiàn)有精密清洗、陽極氧化和熔射等處理方式的基礎(chǔ)上，出現(xiàn)了多種新工藝，包括新舊部件的優(yōu)化改造及工藝升級、TWAS熔射、特種形貌噴砂等。同時，對現(xiàn)有表面處理工藝的要求亦有升級，例如在部件噴砂服務(wù)基礎(chǔ)上，進一步延伸出現(xiàn)了精密噴砂需求。

（3）下游應(yīng)用場景多元化

提供表面處理服務(wù)的企業(yè)在立足半導(dǎo)體及顯示面板行業(yè)的同時，正在大力投入相關(guān)資源以升級現(xiàn)有的表面處理技術(shù)，向民用航空、新能源和工業(yè)耐磨件等應(yīng)用場景擴展。

4、表面處理的新業(yè)態(tài)、新模式發(fā)展趨勢

（1）企業(yè)綜合服務(wù)能力要求不斷提高

表面處理領(lǐng)域，出于降本增效目的，半導(dǎo)體和顯示面板領(lǐng)域客戶對一站式精密清洗、陽極氧化和熔射等綜合服務(wù)能力要求日趨提高。表面處理企業(yè)需要全面掌握多種業(yè)務(wù)技術(shù)能力，以增強客戶粘性，應(yīng)對日趨激烈的市場競爭。

（2）行業(yè)競爭差異化

在當(dāng)前的行業(yè)環(huán)境下，本土表面處理企業(yè)的競爭策略出現(xiàn)了明顯的分化。行業(yè)中部分企業(yè)通過價格競爭等手段快速進入技術(shù)已經(jīng)較成熟的領(lǐng)域，謀求快速提升市場份額；其他部分企業(yè)在中高端領(lǐng)域、高附加值細分領(lǐng)域加大研發(fā)和投入，增強技術(shù)實力，擴展業(yè)務(wù)領(lǐng)域，實現(xiàn)差異化競爭。

5、行業(yè)代表企業(yè)

資料來源：普華有策

更多行業(yè)資料請參考普華有策咨詢《2022-2028年表面處理行業(yè)細分市場分析及投資前景專項報告》，同時普華有策咨詢還提供產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、項目可行性報告、十四五規(guī)劃、BP商業(yè)計劃書、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、藍白皮書、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務(wù)。

第一章宏觀經(jīng)濟環(huán)境分析

第一節(jié) 全球宏觀經(jīng)濟分析

一、2021年全球宏觀經(jīng)濟運行概況

二、2022年全球宏觀經(jīng)濟趨勢預(yù)測

第二節(jié) 中國宏觀經(jīng)濟環(huán)境分析

一、2017-2022年上半年中國宏觀經(jīng)濟運行概況

二、2022年中國宏觀經(jīng)濟趨勢預(yù)測

第三節(jié) 表面處理行業(yè)社會環(huán)境分析

第四節(jié) 表面處理行業(yè)政治法律環(huán)境分析

一、行業(yè)管理體制分析

二、行業(yè)相關(guān)發(fā)展規(guī)劃

三、主要產(chǎn)業(yè)政策解讀

第五節(jié) 表面處理行業(yè)技術(shù)環(huán)境分析

一、技術(shù)發(fā)展水平分析

二、技術(shù)革新趨勢分析

第二章國際表面處理行業(yè)發(fā)展分析

第一節(jié) 國際表面處理行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析

一、國際表面處理行業(yè)發(fā)展概況

二、主要國家表面處理行業(yè)的經(jīng)濟效益分析

三、2022-2028年國際表面處理行業(yè)的發(fā)展趨勢分析

第二節(jié) 主要國家及地區(qū)表面處理行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r及經(jīng)驗借鑒

一、美國表面處理行業(yè)發(fā)展分析

1、2017-2022年上半年行業(yè)規(guī)模情況

2、2022-2028年行業(yè)前景展望

二、歐洲表面處理行業(yè)發(fā)展分析

1、2017-2022年上半年行業(yè)規(guī)模情況

2、2022-2028年行業(yè)前景展望

三、日韓表面處理行業(yè)發(fā)展分析

1、2017-2022年上半年行業(yè)規(guī)模情況

2、2022-2028年行業(yè)前景展望

四、2017-2022年上半年其他國家及地區(qū)表面處理行業(yè)發(fā)展分析

五、國外表面處理行業(yè)發(fā)展經(jīng)驗總結(jié)

第三章 2017-2022年上半年中國表面處理市場供需分析

第一節(jié) 2017-2022年上半年表面處理產(chǎn)能分析

一、2017-2022年上半年中國表面處理產(chǎn)能及增長率

二、2022-2028年中國表面處理產(chǎn)能預(yù)測

三、2017-2022年上半年中國表面處理產(chǎn)能利用率分析

第二節(jié) 2017-2022年上半年表面處理產(chǎn)量分析

一、2017-2022年上半年中國表面處理產(chǎn)量及增長率

二、2022-2028年中國表面處理產(chǎn)量預(yù)測

第三節(jié) 2017-2022年上半年表面處理市場需求分析

一、2017-2022年上半年中國表面處理市場需求量及增長率

二、2022-2028年中國表面處理市場需求量預(yù)測

第四章中國表面處理產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)分析

第一節(jié) 中國表面處理產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

一、產(chǎn)業(yè)鏈概況

二、特征

第二節(jié) 中國表面處理產(chǎn)業(yè)鏈演進趨勢

一、產(chǎn)業(yè)鏈生命周期分析

二、產(chǎn)業(yè)鏈價值流動分析

三、演進路徑與趨勢

第三節(jié) 中國表面處理產(chǎn)業(yè)鏈競爭分析

第五章 2017-2022年上半年表面處理行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析

第一節(jié) 2017-2022年上半年表面處理行業(yè)上游運行分析

一、行業(yè)上游介紹

二、行業(yè)上游發(fā)展?fàn)顩r分析

三、行業(yè)上游對表面處理行業(yè)影響力分析

第二節(jié) 2017-2022年上半年表面處理行業(yè)下游運行分析

一、行業(yè)下游介紹

二、行業(yè)下游需求占比

三、行業(yè)下游發(fā)展?fàn)顩r分析

1、A用表面處理市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預(yù)測

2、B領(lǐng)域用表面處理市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預(yù)測

3、C領(lǐng)域用表面處理市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預(yù)測

4、D用表面處理市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預(yù)測

第六章中國表面處理行業(yè)區(qū)域市場分析

第一節(jié) 華北地區(qū)表面處理行業(yè)分析

一、2017-2022年上半年行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析

二、2017-2022年上半年市場規(guī)模情況分析

三、2017-2022年上半年市場需求情況分析